Mikrotechnische Sensoren und Aktoren 

Die Vorlesung behandelt die Grundlagen mikrotechnischer Fertigungsverfahren, um die Möglichkeiten für die Konzeption und Realisierung von Sensoren und Aktoren aufzuzeigen. Als Grundlage werden zuerst typische Werkstoffe der Mikrotechnik vorgestellt. Von zentraler Bedeutung ist dabei Silizium, welches als Konstruktions- wie auch als Funktionswerkstoff zum Einsatz kommt. Als Sensor wie auch als Aktor kann Piezokeramik eingesetzt werden, die daher neben Formgedächtnislegierungen genauer besprochen wird. Im zweiten Teil der Vorlesung werden unterschiedliche Fertigungsverfahren vorgestellt. Dabei nehmen Verfahren aus der Chipherstellung wie Lithografie und Beschichtungsverfahren den größten Raum ein. Aber auch typische Verfahren der Mikrotechnik, wie Oberflächentechnik, Laserbearbeitung und Ultrapräzisionsbearbeitung werden behandelt. Im dritten Teil werden Anwendungsbeispiele besprochen um den Einsatz von mikrotechnischen Aktoren wie Piezoantriebe, Dosiersysteme aber auch Sensoren, wie Beschleunigungssensoren, chemischen Sensoren und optischen Sensoren, zu demonstrieren.

 

Die Vorlesung und Übung MSA werden im Wintersemester 21/22 wieder in Präsens angeboten! Zusätzlich werden die Videoaufnahmen aus dem letzten Semester auf Moodle bereitgestellt.

 

Vorlesung WS 21/22:

Donnerstags 13.00 Uhr bis 14.30 Uhr im Raum MW 1050 (1. 'Vorlesung' am 21.10.2021)

Übung WS 21/22:

Donnerstags 14.30 Uhr bis 15.15 Uhr im Raum MW 1050 (1. 'Übung' am 04.11.2021)

Skript:

Erhältlich im Skriptenverkauf der Fachschaft Maschinenwesen oder zum Download auf Moodle

Prüfung:

Voraussichtlich Donnerstag, 03.03.2022, 11:30 - 13:00, MW 1550 und MA-IN MI HS1

Betreuung:

Downloads zur Vorlesung:

Stehen bei moodle zur Verfügung